9月26-28日,“2025新一代半导体晶体材料技术及应用大会”将于云南昆明举办。届时,中国科学院半导体研究所研究员徐驰将受邀出席论坛,并带来《从气体源到器件:面向下一代信息技术的硅-锗-锡类半导体全流程研究》的主题报告,敬请关注!
嘉宾简介
徐驰,中国科学院半导体研究所研究员,博士生导师,2021年入选国家海外高层次引才计划青年项目。本科毕业于北京大学物理学院,博士毕业于美国亚利桑那州立大学。主要研究方向为硅基IV族半导体材料(锗、锗锡合金、硅锗锡合金等)的气相异质外延、原位掺杂、红外光电子器件制备及能带结构、掺杂效应、缺陷演化等半导体物理。在国际知名期刊发表论文40余篇,其中第一作者、通讯作者论文20余篇,代表性论文发表于Physical Review Letters、Journal of the American Chemical Society、Chemistry of Materials、ACS Applied Materials & Interfaces、Physical Review B等期刊。谷歌学术总引用量1000余次。现任全国半导体设备和材料标准化技术委员会第七届气体分技术委员会委员。
单位简介
中国科学院半导体研究所是国家级综合性研究机构,聚焦半导体物理、材料及器件研究,支撑半导体相关的系统集成与信息技术创新。光电子材料与器件全国重点实验室M课题组,组长薛春来研究员,现任中国科学院半导体研究所副所长,国家杰青。课题组致力于研究新型硅基IV族半导体材料及相关材料物理,研制高性能红外光电器件及面向光通信的硅基光电子模块、芯片。课题组采用超高真空化学气相沉积(UHV-CVD)技术路线,使用包括高活性气体源在内的多种生长源,具备硅、锗、锡类IV族材料的外延与掺杂能力,在硅基光电子领域做出了独特的成果。
报告前瞻
报告题目:从气体源到器件:面向下一代信息技术的硅-锗-锡类半导体全流程研究
报告摘要:锗与锗锡合金等IV族半导体材料因其与硅体系良好的兼容性以及优越的半导体物理性质,在微电子学、红外光电子学以及量子科技领域具备广阔的发展前景。然而,由于硅、锗、锡原子之间晶格失配较大,同时含锡合金体系中锡原子易偏析,IV族半导体材料在硅衬底上的高质量异质外延始终面临诸多困难。研究聚焦硅基IV族材料的气相异质外延,覆盖高活性气体源-材料外延-器件制备-半导体物理探索的全流程。报告内容涉及基于商用气体源的硅基IV族材料外延与掺杂、IV族高活性气体源与掺杂源的开发及利用、硅基IV族光电子器件的研制、硅基IV族材料的半导体物理等研究内容。
附会议信息:
【会议时间】 2025年9月26-28日
【会议地点】云南·昆明
【指导单位】
第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)
中关村半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)
【主办单位】
云南临沧鑫圆锗业股份有限公司
极智半导体产业网(www.casmita.com)
半导体照明网(www.china-led.net)
第三代半导体产业
【承办单位】
云南鑫耀半导体材料有限公司
北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
【支持单位】
赛迪智库集成电路研究所
中国科学院半导体研究所
云南大学
山东大学
云南师范大学
昆明理工大学
晶体材料全国重点实验室
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【关键材料】
1、锗、硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
2、氮化镓、碳化硅等第三代半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
3、氮化铝、金刚石、氧化镓等超宽禁带半导体材料生长与加工关键技术、器件工艺及应用研究;
【主要方向】
1.化合物半导体单晶与外延材料
(砷化镓,磷化铟,氮化镓,碳化硅,氮化铝,氧化镓,氮化硼,蓝宝石,铌酸锂等晶体、外延生长及模拟设计等)
2. 硅、高纯锗及锗基材料
(大硅片生长及及应用,直拉法或区熔法等单晶生长,原料提纯,GeSi、GeSn、GeC 等多元单晶薄膜,切片与机械抛光,掺杂调控离子注入等)
3.高纯金属、原辅料制备及晶体外延生长与加工关键装备
(高纯前驱体,高纯试剂,高纯气体,高纯粉体, 长晶炉,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生长装备,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及抛光设备与材料,检测设备等)
4.测试评价及AI for Science
(AI 驱动的测试评价革新, 缺陷工程与掺杂策略、晶体生长智能调控、缺陷实时检测与修复,多尺度建模,绿色制造优化 等)
5.光电子器件工艺与应用
(发光二极管,激光二极管,光电探测器件,太阳能电池,照明与显示,激光雷达,光通信,量子技术等)
6.通讯射频器件工艺与应用
(功率放大器,低噪声放大器,滤波器,开关器件,移动通信,卫星通信,低空飞行器,无人机,射频能量等)
7.能源电子及应用
(风电&光伏&储能新能源,电动汽车,数据中心,工业电源,电机节能,轨道交通,智能电网,航空航天,工业控制,变频家电,消费电子,仪器仪表等)
8.绿色厂务及质量管控
(洁净厂房,高纯水制备,化学品供应,特气供应,废气处理及排放,废液处理,大宗气体供应及质量管控等)
【程序委员会】
大会主席:惠峰 (云南锗业)
副主席:陈秀芳(山东大学)、赵璐冰(CASA)
委员:赵德刚(中科院半导体所)、康俊勇(厦门大学)、 徐宝强(昆明理工)、皮孝东(浙江大学)、耿博(CASA)、王军喜(中科院半导体所)、孙钱(中科院苏州纳米所)、王垚浩(南砂晶圆)、 涂洁磊(云师大)、王宏兴(西交大)、彭燕(山东大学)、李强(西交大)、宁静(西电)、修向前(南京大学)、郭杰(云师大)、王茺(云南大学)、邱峰(云南大学)、杨杰(云南大学)、谢自力(南京大学)、葛振华(昆明理工大学)、田阳(昆明理工大学)、魏同波(中科院半导体所)、许福军(北京大学)、徐明升(山东大学)、孙海定(中国科学技术大学)、田朋飞(复旦大学)、刘玉怀(郑州大学)、朱振(浪潮华光)、杨晓光(中科院半导体所)、高娜(厦门大学)、陈飞宏(云南锗业)、康森(天通控股)、解楠(赛迪研究院 )、房玉龙(中电科十三所)、邓家云(昆明理工大学)、李宝学(云锗红外) ......等
【日程安排】
【拟参与单位】
中科院半导体所、鑫耀半导体,南砂晶圆,蓝河科技,天通控股,中电科十三所,南京大学,厦门大学,士佳光子,云锗红外,昆明理工大学,西安电子科技大学,中科院物理所,中电科四十八所,陕西源杰,九峰山实验室,中微公司,矢量集团,晶盛机电,连科半导体,晶澳太阳能 美科太阳能 高景太阳能 中研科精密 华夏芯智慧光子,国联万众,凝慧电子,晶湛半导体,英诺赛科,中光睿华,连城数控,云南大学,阿特斯阳光电力,山东大学,云南师范大学,中科院技物所,隆基电磁, 晶镓半导体,南砂晶圆、西安聚能超导,苏州纳维,中科院物理所,浙江大学,云南锗业,通美晶体,三安光电,电子科技大学,深圳平湖实验室,中科院长春光机所,广东工业大学,南方科技大学, 隆基绿能,合盛硅业,中光睿华,复旦大学,中国科学技术大学, 西安交通大学,江苏第三代半导体研究院, 光迅科技,镓和半导体 全磊光电 新易盛 昆明物理所,科友半导体,STR,河北同光,香港科技大学,深圳纳设 中科院苏州纳米所,中科院上海光机所,哈工大等等
【活动参与】
1、注册费:会议通票2800元;早鸟票:9月20日前注册报名2600元;(含会议资料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、缴费方式:
①银行汇款
开户行:中国银行北京科技会展中心支行
账 号:336 356 029 261
名 称:北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
②在线注册
扫码注册报名
③现场缴费(微信+支付宝)
【论文投稿及报告咨询】
贾老师:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老师:18601994986,linan@casmita.com
【参会参展及商务合作】
贾先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
张女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【会议酒店】
酒店名称:昆明亿壕城堡温德姆至尊酒店
酒店地址:中国(云南)自由贸易试验区昆明片区经开区枫丹白露花园
协议价格:430元/晚(含双早)
酒店预定联系: 陈经理,13759452505(微信同号)
邮箱:13759452505@139.com