在全球半导体产业加速向第三代半导体发展的关键时期,晶升股份作为国内领先的半导体专用设备供应商,始终专注于晶体生长设备的研发与创新。公司以大尺寸半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉为核心,持续向衬底加工设备及外延生长设备延伸,构建了覆盖碳化硅材料制备关键环节的装备解决方案,为行业提供高精度、高稳定性的半导体设备。
从单点突破到全链覆盖 技术创新的跨越式发展
晶升股份的碳化硅晶体生长设备为核心业务之一,公司敏锐洞察到客户对衬底材料“提质降本”的核心诉求,积极推动技术链延伸,构建了从碳化硅粉料合成、晶体生长、晶锭加工到外延生长的全流程设备供应能力,为客户提供一站式、高效率、高可靠性的装备支持,助力碳化硅产业链国产化进程。
粉料合成设备
开发高纯度、低缺陷的碳化硅粉料制备技术,从源头保障材料质量。适用于高品质碳化硅合成;最大装料量达100KG,显著提升合成效率。
晶体生长设备
优化高温长晶炉的温场控制与生长速率,提升晶体良率和尺寸(覆盖6英寸至12英寸)。
晶锭加工设备
创新切割、研磨、抛光工艺,解决碳化硅硬度高、加工难度大的痛点。
外延生长设备
实现均匀性高、缺陷率低的外延生长,满足功率器件与射频器件的严苛要求。
(来源:晶升股份)