江苏晶工申请扩建30亩碳化硅相关设备生产基地

日期:2024-08-13 阅读:257
核心提示:8月11日,据南通日报消息,落户于江苏省南通市启东市启东经济开发区的江苏晶工半导体设备有限公司(以下简称:江苏晶工)正式向

 8月11日,据南通日报消息,落户于江苏省南通市启东市启东经济开发区的江苏晶工半导体设备有限公司(以下简称:江苏晶工)正式向园区提交了建设30亩生产基地的申请。据报道,江苏晶工计划通过扩大生产规模,进一步提升晶圆倒角机等核心产品的产能与品质,满足国内外市场对高端半导体设备日益增长的需求。官网资料显示,江苏晶工致力于半导体设备的研发和制造,现已自主研制出4-8英寸和12英寸的全自动倒角机、全自动晶圆单片清洗机、全自动晶圆刷洗机、全自动上蜡机和轮廓仪等。 

在大硅片领域,江苏晶工已成功推出12英寸晶圆倒角设备和技术方案,有效解决了大尺寸硅片加工难题。同时,在第三代半导体材料碳化硅领域,江苏晶工专注于为6英寸、8英寸及非标准直径尺寸的碳化硅衬底提供倒角、清洗设备及配套工艺。 

目前,江苏晶工通过与山东大学等开展产学研合作,已申请产品相关专利19项,已获得授权发明专利1项,实用新型专利4项,研发的12英寸全自动倒角机MET-5800,打破国内大硅片倒角机进口垄断的局面,全自动倒角机MET-5600成功替代日本进口的倒角机。市场方面,江苏晶工已与欧洲知名衬底厂家签订全自动晶圆倒角机的合同,标志着江苏晶工产品开始走出国门。

来源:半导体信息

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