北京烁科中科信3月31日消息称，一季度实现设备交付及市场订单双突破。
图源：北京烁科中科信
北京烁科中科信称，北京总公司和长沙分公司实现12台离子注入机先后顺利交付，同比增长300%，仅3月份就交付5台设备。一季度新签合同再创新高，合同总额突破3.5亿元，同比增长21%。
据悉，北京烁科中科信成立于2019年，源于中国电科第48研究所，是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。20世纪60年代开始研究离子注入机，先后承担了90—65nm中束流和45—22nm大束流等重大项目的攻关任务，目前已拥有中束流离子注入机、低能大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品。
