用于半导体制造装备的氮化铝陶瓷加热底盘，是高端氮化铝精密陶瓷的一大“卡脖子”产品，世界范围内只有京瓷等少数几家国外企业能生产，目前华清电子材料也实现了突破。这种加热底盘是作为半导体工艺腔室中的晶圆加热器，对产品纯度要求极高，具有高导热性和耐等离子体性能，且热量分布均匀，从粉体制备到陶瓷成型烧结和后段加工等一系列工序的把控要求都非常苛刻。
氮化铝陶瓷加热底盘
华清生产的氮化铝陶瓷加热底盘，实现了400mm超大尺寸的突破，同时具有高导热性（180W/m·K），可实现快速加热和快速冷却功能。从扫描电镜图片看，华清生产的氮化铝陶瓷内部晶粒粒径均匀，无明显晶粒偏大现象，能实现热量均匀性分布，无温差现象，可应用于半导体设备（PVD,CVD, ALD,ETCH，显影机等）关键核心零部件。
微观组织结构SEM照片
福建华清电子材料科技有限公司是氮化铝陶瓷基板的标杆企业，产销量均位于全球前列。华清电子材料成立于2004年，引进清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室科研成果。目前已申请专利80多项，获得授权50多项。厂房面积约4万平米，现有员工人数近500人。在精密陶瓷领域，公司拥有博士领衔的强大的陶瓷材料研发团队。公司配置了国际先进的陶瓷生产、机械加工和检测设备，拥有流延成型，注射成型，干压成型，冷等静压成型，温等静压成型等多种成型设备和成熟工艺，可以为客户提供最佳工艺方案。同时，还拥有独立的实验室和分析检测中心，可为客户提供定制化开发和快速分析检测服务。公司生产的精密陶瓷产品，主要包括氮化铝和氧化铝陶瓷两种材料，产品远销美国、日本、韩国、俄罗斯等国家以及中国台湾等地区。
