碳化硅8英寸双线圈感应炉,恒普科技重磅发布两个新炉型

日期:2022-07-06 来源:半导体产业网阅读:913
核心提示:恒普科技同时推出2款8英寸双线圈感应晶体生长炉,新推出的2款全新炉型,对应SIC感应晶体生长炉在8英寸或更大尺寸上的劣势,也积极对应行业客户的使用习惯和经验延续。
半导体产业网获悉:2022年7月,恒普科技同时推出2款8英寸双线圈感应晶体生长炉,新推出的2款全新炉型,对应SiC感应晶体生长炉在8英寸或更大尺寸上的劣势,也积极对应行业客户的使用习惯和经验延续。
 
在碳化硅8英寸时代到来之际,随着坩埚的直径增长,感应线圈只能加热坩埚的表面,不同位置的径向温度梯度都会随之增大,而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。恒普科技在6月推出了新一代2.0版SIC电阻晶体生长炉,以【轴径分离】+【新工艺】为核心技术,更优化解决晶体的长大、长快、长厚的行业需求。这就突显SiC感应晶体生长炉的技术落后,为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续,恒普科技推出了双线圈感应晶体生长炉,并且同时推出石英管(双线圈外置)和金属壳(双线圈内置)两款全新炉型。
 
双线圈的技术并不是新的技术路线,但是双线圈的相互干扰,特别是在坩埚中的发热互相干扰,对工艺调整存在很大难度,物质流传输及通道沉积都存在难点,为了克服8英寸感应晶体生长炉的问题点,恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离,做到了【准轴径分离】,并将技术同时使用在了两种炉型上,满足更多客户的使用习惯。
 
》》核心技术
 
·坩埚区域温度分离  (相对分离)
·采用特殊定制石墨硬毡
·双水平式线圈
·独特的二次发热体
·坩埚与热场分离
·物质流的传输导流控制
注:以上功能不是2款炉型都有。
 
》》产品&技术特点
 
一、SiC石英管双线圈(外置)感应晶体生长炉
技术特点:
·坩埚区域温度分离
·方便原工艺过渡
·水平螺旋线圈,提高磁场平衡与双线圈匹配
 
二、SiC金属壳双线圈(内置)感应晶体生长炉
技术特点:
·炉下方向出料,解决8英寸坩埚上取料的不便
·出料时,坩埚与热场自动分离,提高炉次的重复性
·独特的二次发热体
·优化内置线圈绝缘
·横向多点测温
·采用特殊定制石墨硬毡
▲宁波恒普真空科技股份有限公司
宁波恒普真空科技股份有限公司是一家以材料研究为基础,以高温热场环境控制为技术核心的金属注射成形(MIM)领域和宽禁带半导体领域的关键设备供应商,主要从事金属注射成形(MIM)脱脂烧结炉、碳化硅晶体生长炉、碳化硅同质外延设备等热工装备的研发、生产和销售。
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