南大光电：ArF光刻胶验证工作

南大光电(300346.SZ)5月13日在投资者互动平台表示，目前主要的检测设备如光刻机已经安装并投入使用。符合公司要求的缺陷检测设备目前市场上比较稀缺，公司正在努力推进采购工作。 ArF光刻胶验证工作在顺利推进中。