半导体行业沉积设备领先制造商AIXTRON SE 总裁兼首席执行官 Felix Grawert 博士表示：“碳化硅是下一代电源管理关键技术之一。它使我们能够在半导体行业的发展中谱写激动人心的新篇章，并为支持可持续未来的节能技术做出重要贡献。Wolfspeed 处于 200 毫米碳化硅制造的最前沿，我们很自豪能与 Wolfspeed 合作，帮助将这一最新创新推向市场。”
新的行星式反应器将以 6 x 200 毫米的配置交付，这是迄今为止市场上（单个设备）碳化硅外延最大容量。与现有行星式反应器相比，每批次的总外延面积将显著增加。该设备将高度自动化，能够在不干扰生产周期的情况下快速更换零件。这些设备还将采用温度控制技术，以获得最佳的晶圆性能，以满足碳化硅晶圆外延层的前沿质量要求。
Wolfspeed 首席执行官 Gregg Lowe 表示：“对于碳化硅解决方案的需求持续加速增长，这主要是由汽车、工业和能源应用所推动，因为它们正在从硅技术转向碳化硅技术。Wolfspeed 继续进行投资，以提高产能并利用碳化硅的优势，帮助向市场提供更大的供应。我们感谢与 AIXTRON 的长期、出色的合作关系。他们是我们的重要合作伙伴，助力我们全球首个 200 毫米碳化硅制造工厂产能爬坡。”
Wolfspeed 是碳化硅技术的全球引领者，目前正在推进其位于美国纽约州马西莫霍克谷的自动化 200 毫米碳化硅晶圆厂的建成与产能爬坡。由于碳化硅独特的物理性能，碳化硅能够实现高功率密度和高能源效率，并将推动下一代半导体技术的发展。
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https://compoundsemiconductor.net/article/114407/Wolfspeed_to_Purchase_AIXTRON_Epitaxial_Tools_to_Ramp_200_mm_Production
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