据合肥新站区消息，10月15日，新站高新区和鋐棋(合肥)科技有限公司半导体关键设备灯罩组件及耗材项目正式签约，填补了国内半导体核心高精密耗材空白。
鋐棋（合肥）科技有限公司是一家专注于半导体高端精密耗材研发与制造的高新技术企业，致力于在国内实现半导体核心零部件的本土化生产与创新突破，主要产品包括半导体设备中的关键耗材，如shower head（气体分布盘） 和lamp housing（灯罩组件），广泛应用于先进制程工艺。目前，鋐棋科技已成为国内少数能够量产5纳米先进制程核心零部件的企业之一。
该项目总投资2亿元，计划租赁“芯”视界产业园办公楼和厂房，主要从事半导体光刻与清洗环节的核心零部件灯罩组件及喷淋头等耗材的生产制造，将联合台湾永康公司共同开展项目运营。该项目建成后，将实现关键耗材的国产化替代，以降低对国外供应链的依赖，保障产业链安全。
