山东镓数智能科技有限公司的氮化镓单晶衬底项目已全面达产。
该项目位于临沂电创产业园，由山东镓数智能科技有限公司运营，主要生产高亮度、高结晶质量的2英寸氮化镓单晶衬底。
对此，山东镓数总经理梁如俭介绍道，该项目规划50条生产线，年产量可达10万片氮化镓单晶衬底。2024年规模化投产，2025年5月开始试产冲刺，目前已建成10条国际领先生产线。产品已进入中科院采购目录并形成订单，技术上可实现三片同时生长，具备六片生长的技术储备，能生产大尺寸单晶衬底晶片。以亩均税收50万元、年产值2.3亿元的效益荣获临沂市2024年度“十大好项目”。
HVPE设备实现三片同时生长，具备六片生长的技术储备，晶体缺陷密度大幅降低。国产检测设备参与度提升，衬底缺陷检测、厚度均匀性检测设备本土化率达60%以上。
该项目填补了国内高端半导体材料空白，推动国产氮化镓产能扩张和产业链完善。罗庄区依托该项目规划千亩级电创产业园，目标打造“原材料—芯片—终端应用”全产业链集群。该项目的达产标志着中国在氮化镓单晶衬底领域取得重要突破，对提升国产半导体材料竞争力具有重要意义。
