根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“碳化硅晶锭激光切割方法及切割系统”,专利申请号为CN202510437342.8,授权日为2025年6月17日。
专利摘要:本申请提供了一种碳化硅晶锭激光切割方法及切割系统,属于碳化硅晶锭加工技术领域,解决了现有技术碳化硅晶锭激光切割损耗较高的问题。本申请的切割方法包括以下步骤:获取晶锭上的操作工位的位置,所述操作工位为朝向激光源的晶锭表面区域;于操作工位下方设定一扫描路径和一目标深度,控制第一光束沿扫描路径对目标深度进行扫描,所述第一光束的聚焦光斑配置为高斯光斑;获取第一光束形成的裂纹信息,所述裂纹信息包括裂纹宽度,将裂纹宽度由大到小分级依次分为A级、B级、C级;确定裂纹宽度级别,执行相应裂纹控制策略。本申请通过增设第二光束以相位调制的方式跟随第一光束同步扫描,产生的压应力可以抵消原有拉应力,以抑制裂纹扩展。
今年以来晶盛机电新获得专利授权61个,较去年同期减少了17.57%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了11.19亿元,同比减2.29%。