2024年4月9-11日，一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会（简称“JFSC＆CSE”）将于武汉光谷科技会展中心举办。北京京仪自动化装备技术股份有限公司将携新品亮相本届盛会，诚邀业界同仁莅临1T12展台参观、交流合作。
本届CSE博览会由第三代半导体产业技术创新战略联盟、九峰山实验室共同主办，以“聚势赋能 共赴未来”为主题，将汇集全球顶尖的化合物半导体制造技术专家、行业领袖和创新者，采用“示范展示+前沿论坛+技术与商贸交流”的形式，为产业链的升阶发展搭建供需精准对接平台，助力企业高效、强力拓展目标客户资源，加速驱动中国化合物半导体产业链的完善和升级。
CSE作为2024年首场国际化合物半导体产业博览会得到了多方力量的大力支持，三大主题展区，六大领域，将集中展示各链条关键环节的新技术、新产品、新服务，将打造化合物半导体领域的标杆性展会。助力打造全球化合物半导体平台、技术、产业的灯塔级盛会，集中展示化合物半导体上下游全产业链产品，搭建企业发布年度新产品新技术的首选平台，支撑产业链及中部地区建设具有全球影响力的万亿级光电子信息产业集群。
北京京仪自动化装备技术股份有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、晶圆传片设备(Sorter/EFEM)、半导体专用工艺废气处理设备(LocalScrubber)等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。2023年11月29日在上海证券交易所科创板上市，股票简称为京仪装备，股票代码为688652。
产品介绍
晶圆传片设备(Sorter)
晶圆传片设备(Sorter)是集成电路制造过程中不可或缺的设备之一，主要由洁净大气机械手、晶圆载物台 (Load port)、晶圆对准器(Aligner)、视觉系统、控制系统和超洁净运行空间组成，可以执行分批\合批\排序\倒片等传片、读取Wafer ID、对齐Notch 口、读\写 FOUP ID、晶圆翻转等任务组合，可接入工厂的自动化系统与天车、Stocker对接实现全自动化运行。
半导体专用温控设备 (Chiller)
半导体专用温控设备 (Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。研发人员在常规 PID 控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，显著地提高了Chiller 的稳定性、控制精度和响应速度。
单通道系列Single channel series
型号：V101
核心特点：优异低温性能；
节能控制技术；
智能控制方案
双通道系列Dual channel series
型号：V201
核心特点：优异低温性能；
节能控制技术；
智能控制方案
双通道系列Dual channel series
型号：V200
核心特点：满足切换控温需求，快速响应；
优异的低温性能；
具有液位平衡功能；
两级闭环节能控制
三通道系列Triple channel series
型号：B-830TC
核心特点：三通道整合，达到空间的高效利用；
优化系统传热设计，节省循环液使用量；
深化性能开发，匹配先进刻蚀工艺需求；
具有液位平衡功能
三通道系列Triple channel series
型号：T320
核心特点：满足混合控温需求，快速响应；
具有自动purge功能；
具有液位平衡功能；
两次闭环节能控制
面板系列Panel series
型号：S301
核心特点：满足相关工艺三通道需求；
两级闭环节能控制；
具有自动补液功能
面板系列Panel series
型号：H110
核心特点：满足大流量大负载需求；
冷却水自动调节；
两级闭环节能控制;
具有自动补液功能
半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）
半导体专用工艺废气处理设备是为半导体、液晶面板等行业中所产生的有毒害化学品提供一个可控制的气体处理环境。针对不同化学品的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式进行化学反应或物理吸附等，以达到绿色环保等级的处理效率和排放标准。我司对半导体专用工艺废气处理设备具备独立的研发技术能力，能够为每一位客户提供优质的产品和技术服务。
产品特点：符合 SEMI 标准
大量的市场装机容量
产品维护方便快捷
多种可选配置，给客户提供更多选择
等离子水洗式产品系列Plasma Wet Type
型号Kylin PW系列
适用制程
适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行业
对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越
全新系统设计
等离子弧火焰超过3000℃，可以高效处理PFC气体
低耗电量，等离子电源能耗可根据应用制程进行调节
可供选择的功能模块
循环水冷却模块，降低新水消耗
粉尘自清洁模块，预防粉尘堵塞
氮氧化物处理模块，实现氮氧化物排放可控
可维护性、安全性增强
PLC安全互锁系统，烟感，漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行；
部件模块化设计，便于拆装维护
高利用效率
高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体
较小的占地面积
双腔燃烧水洗式产品系列Burn Wet Type-Dual System
型号：Kylin DB 系列
适用制程
适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行业
全新系统设计
采用燃烧水洗式双腔设计，2+2or 3+3 inlet可支持多个工艺腔体连接。双腔功能，单腔切换，独立工作，相互之间无影响
气体处理量400+400slm/800+800slm,CDA与02版本满足不同气体处理量需求
燃烧反应腔
可自身/双机互备，提供更多互备方案选择，实现资源利用最大化
支持Process Mode/Idle Mode 多个模式可选降低能耗
可维护性、安全性增强
部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装
PLC安全互锁系统，烟感，漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行；
高利用效率
高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体
较小的占地面积
电加热水洗式产品系列Thermal Wet Type
型号：Kylin TW 系列
使用制程
适用于半导体制程(CVD/PVD/DIFF)
全新系统设计
采用水洗-加热-水洗的三位一体处理结构设计，延长设备维护周期
多模块选配-自动旁通阀模块、腔体粉尘自清洁模块、循环水冷却模块
电加热反应腔
可调节的加热温度区间提高了控制废气处理温度的灵活性
独立的加热棒设计提高热效率，并易更换
“Top-Down”结构预防粉尘堆积
可维护性、安全性增强
设备各部件模块化设计便于设备维护
PLC设计完备的安全互锁系统保证设备安全稳定运行
高利用效率
高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体
较小的占地面积
单腔燃烧水洗式产品系列Burn Wet Type-Single System
型号：Kylin BW 系列
适用制程
适用于半导体制（CVD/PVD/ETCH/DIFF）以及光伏、面板或LED行业
全新系统设计
采用燃烧水洗式结构设计，多进口可支持多个工艺腔体连接
气体处理量400slm/800slm，CDA与02版本满足不同气体处理量需求
燃烧反应腔
火焰系统防风设计保证火焰燃烧稳定
支持 Process Mode/Idle Mode多个模式可选，降低能耗
可维护性、安全性增强
部件模块化设计及灵活的维护空间便于拆装
PLC安全互锁系统，烟感，漏液侦测等传感器的使用，保证设备安全运行；
高利用效率
高流量以及多进口设计，可以连接多个工艺腔体
较小的占地面积
值此之际，我们诚邀业界同仁共聚本届盛会，莅临展位现场参观交流、洽谈合作。
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