盛美上海湿法设备4000腔顺利交付

日期:2024-03-12 阅读:229
核心提示:2024年3月6日,盛美上海湿法设备4000腔顺利交付。盛美上海于2021年10月顺利交付湿法设备2000腔, 2022年11月突破3000腔,如今400

 2024年3月6日,盛美上海湿法设备4000腔顺利交付。盛美上海于2021年10月顺利交付湿法设备2000腔, 2022年11月突破3000腔,如今4000腔的里程碑也已达成。盛美上海消息显示,盛美上海总经理王坚表示:“盛美的清洗设备可以做逻辑与存储90%以上的清洗工艺,我们可以期待很快湿法设备突破5000腔。”

盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年,是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业。集研发、设计、制造、销售于一体,为全球客户提供高端半导体设备。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。

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