12月27日，总投资6亿元、由上海盛剑半导体科技有限公司建设运营的国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地在嘉定工业区开工。项目建成后，有望提升半导体制程附属装备的高端国产化配套能力，推动半导体装备国产替代率不断提高。
生产基地选址嘉定工业区（北区）JDSB0301、JDSB0302、JDSB0303单元64-03地块，东至基地边界，南至基地边界，西至城北路，北至兴顺路。项目占地面积约42亩，拟分两期投资建设，将打造成为集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。
据了解，上海盛剑半导体科技有限公司是国内半导体产业工艺废气治理系统解决方案领军企业——上海盛剑环境系统科技股份有限公司的子公司。截至目前，企业已获专利50余项，在半导体附属设备领域具备深厚积累。
（来源：澎湃新闻）
