九峰山实验室COO赵勇:打造开放平台培育创新沃土 争做行业“灯塔”

日期:2023-04-21 阅读:1284
核心提示:集微网报道 4月20日,2023中国光谷九峰山论坛暨化合物半导体产业大会在武汉光谷开幕。此次大会以攀峰聚智、芯动未来为主题,邀请

 集微网报道 4月20日,“2023中国光谷九峰山论坛暨化合物半导体产业大会”在武汉光谷开幕。

此次大会以“攀峰聚智、芯动未来”为主题,邀请海内外院士专家、企业高管共800多位重量级嘉宾参加,其中包括众多从事全球半导体新材料、新工艺领域的顶级专家,尤其是碳化硅(SiC)等第三代化合物半导体领域泰斗。

会议期间,九峰山实验室首席运营官赵勇在接受集微网采访时表示,九峰山实验室将做好链接产业和科研的桥梁,打造开放共享的平台和创新培育的沃土,努力成为化合物半导体领域的“灯塔”。

九峰山实验室于2021年由湖北省人民政府正式批复组建,是9大湖北实验室之一。实验室面向世界科技前沿,面向国民经济主战场和国家重大需求,以建设先进的化合物半导体研发和创新中心为愿景,在中国光谷建立全球一流的化合物半导体工艺、检测基础设施。聚集世界各地人才,建设打造公共、开放、共享的科研平台。

截至目前,九峰山实验室已建成化合物半导体产业最先进、规模最大的科研及中试平台,包括9000平方米洁净室以及一流的化合物半导体工艺、检测、材料平台,4/6/8 inch工艺平台全兼容,化合物半导体材料设备全覆盖,可扩展下一代半导体设备能力。

在赵勇看来,九峰山实验室定位为链接产业和科研的桥梁。

“在硅基领域我们有一个很好的参考对象,就是该领域的灯塔——IMEC(比利时微电子研究中心),而在化合物半导体领域还缺乏这样的机构,我们希望打通化合物半导体基础研究、应用、材料、装备等全产业链,成为未来下一代技术的灯塔。”赵勇说。

据赵勇介绍,九峰山实验室规划建设三条中试线,并计划导入更多国产设备、材料,培养自己的工艺研发队伍。

今年3月,九峰山实验室工艺中心8英寸中试线正式通线运行,首批晶圆(高精密光栅)成功下线。这也标志着实验室8英寸0.15μm以上技术节点设备及工艺的全线打通,填补了国内高线密度、超高折射率、非周期性高精密光栅生产工艺空白。

此外,未来化合物半导体市场空间巨大,且保持高速增长势头。依托于5G通信、智能汽车、清洁能源、物联网、智能制造等战略性新兴产业需求为牵引,九峰山实验室将进一步推动化合物半导体产业发展。

“我们希望不仅能够在技术上指引未来方向,最关键是把这个产业和基础研究也能拉动起来,这是九峰山实验室的设想和努力目标。”赵勇说。

赵勇表示,九峰山实验室希望打造一个开放共享的平台和一片培育创新的沃土,打造量产级研发平台。目前的三条中试产线,具备小批量生产能力。三条产线不仅可以提供给高校师生用于科研,很多国产设备、材料厂商也可以在产线上试用,也可以支持芯片设计厂商流片。

“不少高校和企业其实有很多创新的想法,但苦于没有开放平台能够使用。而九峰山实验室的这三条线,为这些知识产权转化成产值提供了条件和可能。”赵勇说。

赵勇认为,九峰山实验室在化合物半导体方面具有几方面的优势:

首先,品类最全。包括磷化铟、碳化硅、氮化镓以及金刚石等都在积极布局,包括从设备到材料方面的研发和人才投入。其次,从4英寸、6英寸到8英寸,设备最为齐全。第三,武汉本身具有半导体产业的基础,有包括面板、存储领域的龙头企业带动,同时武汉高校众多,有科研人才的保证,加之武汉市政府、高新区管委会一直以来的重视和支持,这些都成为九峰山实验室发力化合物半导体,争做“灯塔”的底气。

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