公开资料显示，精积微半导体成立于2021年5月，是精测电子的子公司。该公司是一家半导体检测领域相关设备研发商，现阶段主要聚焦于明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等。
精测电子发布的财报显示，精积微半导体最近一期（2021年9月30日）的主要财务指标为资产总额49,889,525.05元，负债总额23,100,818.74元，净资产26,788,706.31元，营业收入0元，净利润-13,211,293.69元。
“精积微半导体”日前完成了3亿元战略融资，投资方为上海半导体装备材料基金，张江浩珩，浦东科创，同鑫力诚，海望资本，上海精望，上海精测等。
