金宏气体成功试产集成电路用电子级正硅酸乙酯（TEOS）

金宏气体克服了电子级TEOS纯化过程中金属离子杂质去除难，痕量金属检测难，设备、管道、包装容器易污染等多项技术难题，形成了具有自主知识产权的电子级TEOS纯化、检测、过滤和充装技术。