自筹7亿元 彤程新材研发ArF高端光刻胶：两年后完成

该项目主要研究 ArF 湿法光刻胶工业化生产技术开发，通过建立标准化的生产及控制流程，提升高端光刻胶的质量控制水平，实现193nm 湿法光刻胶量产生产;同时，逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。