新闻资讯
行业活动
专题聚焦
招聘求职
资料下载
视频
天岳先进
长电科技
华为
晶盛机电
产业基地
芯
半导体
赛微电子
首页
新闻资讯
行业活动
专题聚焦
招聘求职
资料下载
视频
首页
>
新闻资讯
>
产业
0
微博
Qzone
微信
晶盛机电:首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶
日期:2021-07-23
来源:半导体产业网
阅读:310
核心提示:7月20日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。
7月20日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。
官方介绍,研发团队在巩固原有技术的基础上,解决了硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程震动消除等诸多技术难题,实现了高稳定性晶体生长环境,为 12 英寸硅单晶体内微缺陷控制和径向均匀性提高提供了技术支撑。
晶盛机电称,依托两项国家科技重大 02 专项课题(“300mm 硅单晶直拉生长装备的开发”和“8 英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),专注于半导体硅单晶生长装备研发,相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。
打赏
0
条评论
投资120亿 武汉先导化合物半导体项目预计年底投产
厦大团队突破:量子点发光微球打造超高效明亮Micro-LEDs
华润微:安全MCU产品已在客户端实现上量
亚曼光电半导体设备研发生产基地项目落户望城经开区
中微公司多款先进逻辑设备通过客户验证
商务部:美国停止对华EDA销售等做法,严重破坏日内瓦经贸会谈共识
光谷百亿级半导体材料项目,冲刺年底投运
惊人天价!台积电1.4nm晶圆成本曝光
泛半导体高端装备厂商合肥欣奕华完成超3亿元B+轮融资
从8英寸量产到12英寸突破!合盛硅业全链条攻克SiC核心技术再攀高峰!
联系客服
投诉反馈
顶部