日前，由至纯科技投资10亿元建设的晶圆再生基地（一期）项目（至纯科技合肥至微项目）在合肥市新站高新区正式量产。报道指出，该项目是国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。
图片来源：合肥新闻联播视频截图
报道显示，合肥至微半导体有限公司，是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。根据资料，至纯科技致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务。
合肥至微半导体鸟瞰，图片来源：合肥新站区
根据合肥新站区消息，该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。其中，晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线，不仅填补了产业链的空白，也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。
据悉，晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。
合肥新站区消息称，至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。
