晶盛机电：成功生长出 6 英寸碳化硅晶体

晶盛机电（300316.SZ）7 月 5 日在投资者互动平台回答提问时表示，公司近年布局的第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展，成功生长出 6 英寸碳化硅晶体，碳化硅外延设备已通过客户验证。同时在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，目前测试线进展顺利，设备分批进厂安装调试中。