ULVAC李茂林:碳化硅功率器件制造中ULVAC的量产技术

日期:2021-04-27 来源:第三代半导体产业网阅读:382
核心提示:爱发科商贸(上海)有限公司市场总监李茂林带来了“碳化硅功率器件制造中ULVAC的量产技术”的主题报告
面向未来智能社会所需的信息通信,电力电子,自动驾驶等领域,近年来第三代功率半导体材料(SiC,GaN等)具有更宽的禁带宽度、更高的导热率、更高的抗辐射能力、更大的电子饱和漂移速率等特性,已经成为最有潜能的新一代材料。
 
近日,2021功率半导体与车用LED技术创新应用论坛在上海举行。本届论坛由半导体产业网和励展博览集团共同主办,并得到第三代半导体产业技术创新战略联盟、国家半导体照明工程研发及产业联盟的指导。
李茂林
会上,爱发科商贸(上海)有限公司市场总监李茂林带来了“碳化硅功率器件制造中ULVAC的量产技术”的主题报告,分享了针对SiC功率器件制造的量产技术。
 
爱发科商贸(上海)有限公司的经营内容涉及设备销售面向平板显示(TFT-LCD、AM-OLED、Micro-LED)、太阳能电池(SHJ、CIGS等)、集成电路(LOGIC、Memory)、电子元器件(IGBT、SiC功率器件、MEMS、SAW/BAW等)、触摸屏、真空冶金、真空包装、研究开发等领域的设备。售后服务涉及设备安装调试、定期保养、维护维修、零部件销售、设备改造、零部件清洗等。以及国内外集团公司产品销售及售后服务,各种靶材的销售等其他业务。
 
真空技术在功率器件领域有其作用,ULVAC集团是致力于全球知名真空薄膜技术的供应商,特别在SiC功率器件领域具有三十余年的薄膜制造技术经验。报告详细分享了SiC功率器件制造过程中的ULVAC设备和技术整体解决方案,详细说明了高温离子注入技术、碳膜溅射技术及高温退火技术是不同于硅基器件的特殊工艺制程。






 
 
李茂林表示,ULVAC集团拥有SiC功率器件综合量产解决方案,Si-IGBT功率器件综合量产解决方案。全方位的解决方案,全方位的工艺支持,定制化的技术服务,期待与中国功率器件行业共同成长,为市场提供最先进的解决方案。
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