深圳第三代半导体研究院杨安丽:抑制4H-SiC功率器件双极型退化的“复合提高层”设计

日期:2020-12-17 来源:第三代半导体产业网阅读:918
核心提示:深圳第三代半导体研究院研究员杨安丽分享了抑制4H-SiC功率器件双极型退化的“复合提高层”设计的研究成果。
 近日,由国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)与第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)主办,南方科技大学微电子学院与北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司共同承办的第十七届中国国际半导体照明论坛(SSLCHINA 2020)暨2020国际第三代半导体论坛(IFWS 2020)在深圳会展中心召开。
杨安丽--深圳第三代半导体研究院研究员 (1)
期间,由广东芯聚能半导体有限公司,中电化合物半导体有限公司,英诺赛科(珠海)科技有限公司共同协办的功率电子器件及封装技术分会上,深圳第三代半导体研究院研究员杨安丽分享了抑制4H-SiC功率器件双极型退化的“复合提高层”设计的研究成果。
 杨安丽--深圳第三代半导体研究院研究员 (7)
“双极型退化”是目前影响4H-SiC双极型器件稳定工作的重要问题。报告介绍“双极型退化”的起源及相应的解决方案。以万伏级的超高压PiN二极管为例,详细介绍在衬底与外延层之间如何设计合适的“复合提高层”来抑制双极型退化。研究了器件工作电流密度和“复合提高层”少子寿命对设计“复合提高层”的影响。结果表明,在一定的工作电流密度下,“复合提高层”少子寿命越短,所需“复合提高层”厚度越薄。并通过实验结果,比较了N掺杂、N+B掺杂和N+V掺杂的“复合提高层”对PiN二极管“双极型退化”的影响。





杨安丽历任日本电力中央研究所(CRIEPI)特任研究员,日本国立材料研究机构(NIMS)SPring-8 BL15XU博士后研究员。主要研究方向围绕宽禁带半导体材料生长表征及应用。曾参与了中国国家863项目、日本科学振兴机构(JSTA:基于元素战略的智能材料创新)及日本科学技术厅和日本新能源及产业技术综合开发机构(NEDO:下一代电力电子/SiC功率器件)的研究项目,在APL、JAP、PRB等国际半导体领域著名期刊共发表SCI学术论文40余篇,其中第一作者论文16篇,申请国家发明专利3项。日本国立材料研究机构(NIMS)大会邀请报告一次,SiC领域国际顶级会议(ICSCRM 2017及ECSCRM2018)口头报告2次,并被大会选为亮点。
 
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)
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