说起辽宁的半导体装备产业，那可真是一片藏龙卧虎之地！尤其是沈阳，更是集中了众多“实力派”。芯源微、拓荆科技、富创精密、中科仪、和研科技和新松机器人，这六家企业被大家亲切地称为“六小虎”，它们在各自领域里稳扎稳打，虽然时常被模仿，但核心实力却一直保持着领先，堪称国产替代路上的“不倒翁”。
1. 芯源微：涂胶显影领域的“单打冠军”
芯源微，这家2002年由中科院沈阳自动化所“孵化”出来的企业，在国内半导体设备界有着独特的地位。它是目前国内唯一能稳定提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，这意味着芯片制造中最关键的“画图”和“显影”环节，国内有它来扛大旗。不仅如此，在物理清洗和先进封装这些细分赛道上，芯源微也是妥妥的“领头羊”。更厉害的是，他们的产品已经成功打入台积电等国际大厂的供应链，并获得行业五强的认可，实力可见一斑。
2. 拓荆科技：薄膜沉积的“多面手”
在芯片制造中，给芯片“穿衣服”（沉积薄膜）是必不可少的步骤。拓荆科技就是国内少数能提供多种关键沉积设备（PECVD、SACVD、HDPCVD）并实现量产的企业，同时也是原子层沉积（ALD）领域的先行者。他们的PECVD设备尤其重要，已经能覆盖芯片制造所需的各类薄膜材料，为国产芯片的“华丽外衣”提供了有力保障。
3. 富创精密：精密零部件的“工匠大师”
一台半导体设备，精密零部件是它的“筋骨”。富创精密就是国内这方面当之无愧的“工匠大师”。他们的工艺水平全球领先，能生产各种高精度的零部件和气体管路，精度指标完全对标国际主流。甚至能批量供应给7nm这样尖端工艺制程的设备，并成功进入多家全球顶级设备商的供应链，为国产设备提供坚实的“零件”支撑。
4. 中科仪：真空泵领域的“独角兽”
真空环境是半导体制造的基础。中科仪，这家中科院背景的企业，是国内唯一在集成电路制造领域实现干式真空泵批量应用的公司。作为国科科仪旗下的重要力量，它在维持芯片制造“真空”环境方面，扮演着不可或缺的角色。
5. 和研科技：封装设备里的“破局者”
芯片封装同样关键，而和研科技就是国产封装设备领域里那个敢于“破局”的企业。在划片、切割分选、研磨这些封装环节的核心设备上，他们一步步打破了国外企业的技术垄断，让国产设备在半导体封装这条赛道上，跑出了自己的节奏。
6. 新松机器人：半导体“搬运工”的“老司机”
来自机器人领域的“跨界选手”新松机器人，虽然主业是机器人，但其子公司新松半导体却在半导体设备领域也有一席之地。他们的真空机械手等产品，就像半导体工厂里的“高效搬运工”，服务于制造的全链条，是国内该细分领域的领先者。
半导体“六小虎”齐聚沈阳，不仅展现了辽宁在半导体装备领域的深厚底蕴，更在国产替代的大潮中，扮演着“先锋军”的角色。它们各自深耕，又相互协作，共同为我国半导体产业的自主可控，贡献着来自东北老工业基地的“硬核”力量。未来，这股力量定会更强！
