斥资3.4亿美元 英特尔抢订ASML最先进光刻机

日期:2022-01-21 来源:北京商报阅读:440
核心提示:当地时间1月19日,光刻机巨头阿斯麦(ASML)官网显示,英特尔订购了一款最先进的芯片制造机(光刻机)。这款光刻机目前仍处于设
 当地时间1月19日,光刻机巨头阿斯麦(ASML)官网显示,英特尔订购了一款最先进的芯片制造机(光刻机)。这款光刻机目前仍处于设计阶段,预计数年后才会交付。
 
阿斯麦称,现已收到5台下一代光刻机的订单,这5台机器被称为“High NA”EUV,将采用不同的镜头系统,数值孔径(NA)更大,每台成本约为3亿美元。第一批原型将于2023年发货,预计要到2025年才能用于批量生产。
 
此前,阿斯麦发言人曾透露,更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺,将极度依赖高NA EUV光刻机。
 
阿斯麦最先进的商用机器被称为“EUV光刻系统”,使用“极紫外光”(EUV)光波来绘制计算机芯片的电路的,其大小相当于一辆公交车,每台成本约为1.5亿美元。一家先进芯片工厂通常需要9~18台这样的设备。因此,光刻机是芯片制造商最大的资本开支之一。
 
当前,阿斯麦是此类机器的唯一制造商,其EUV客户包括全球最大的芯片制造商,如台积电、三星和英特尔等。
 
“英特尔的重点是保持在半导体光刻技术的前沿,在过去一年里,我们一直在建设我们的EUV专业知识和能力。”英特尔执行副总裁和技术开发总经理Ann Kelleher说。
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