宗润福表示，半导体装备产业既引领制造技术的发展，又体现一个地区在国家创新体系中的地位。沈阳目前已经形成了以优秀企业为依托的半导体装备产业集群，产业集群初具规模并发展迅速。“沈阳的半导体装备产业集群已经开始发挥凝聚创新人才、提升区域创新能力、以‘新字号’增量带动‘老字号’存量发展的作用。”宗润福说。
宗润福建议，沈阳应推动创新资源向优势企业集聚，突出企业的创新主体地位，加强产学研合作，发挥上下游配套优势，引进和培育更多优秀企业，做大做强沈阳半导体装备产业集群，提升区域创新能力及沈阳在国家创新体系中的地位。同时，要着力优化法治化营商环境，加大知识产权保护力度，促进产业健康发展。
据了解，芯源微于2019年12月登陆上交所科创板市场。作为半导体涂显行业龙头，芯源微是中科院沈阳自动化研究所于2002年发起创立的高新技术企业，公司主营产品涂胶显影机，是芯片生产线上的关键工艺设备，与光刻机联机作业，共同保证光刻的线宽和良率。
