江苏大学左然教授分享了《AlN MOCVD的气相和表面反应机理的量子化学计算》研究报告。他介绍到，课题组利用量子化学的密度泛函

中微半导体设备（上海）有限公司副总裁MOCVD产品事业部总经理郭世平带来了《氮化物深紫外LED生产型MOCVD机台设计及外延生长的挑

为了使基于AlGaN材料的深紫外LED能够更广泛地应用于固化、水和空气的净化及医疗消毒等各方面，必须要大幅地降低其成本。提高深紫

中微半导体设备(上海)有限公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于45纳米到7纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。目前，正在亚洲地区40多条国际领先的生产线上运行的中微反应台（包括介质刻蚀、TSV和MOCVD）已将近800个。中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备不仅已在客户生产线投入量产，而且已成为在蓝光LED市场占有率最大的领先设备

作为MOCVD设备的巨头之一，美国维易科精密仪器有限公司市场营销总监Mark MCKEE带来了关于MOCVD最新市场及技术进展的报告。Mark MCKEE表示，非常希望以最低的成本得到最高的性能表现，一方面要提高效率，在一些关键领域发力，比如均一性方面需要......请您在WIFI条件下观看！或下载极智APP收藏反复观看！

北京大学教授陈志忠介绍了基于纳米图案蓝宝石衬底通过MOCVD生长蓝绿色LED。陈志忠表示，GaN基青光LED通过低压金属有机物化学气相沉积（MOCVD）生长得到。首先在成核层上进行两步法高温生长GaN模板，接着在模板上生长青光LED，波长为490nm。通......请您在WIFI条件下观看！或下载极智APP收藏反复观看！

爱思强全球副总裁Michael HEUKEN ：Micro LED显示屏-高产率MOCVD工艺路径。报告中，Michael HEUKEN 分享了关于 Micro LED相关设备的研究进展及成果，也包括一些生产平台等技术。他同时表示，未来非常期待手机显示器就.....请您在WIFI条件下观看！或下载极智APP收藏反复观看！

中微半导体设备(上海)有限公司主任研究员胡建正分享了介绍了基于高产率MOCVD平台 - AMEC Prismo A7TM的氮镓LED生长研究。胡建正主要研究基于GaN材料的LED器件设计、性能及可靠性分析。主要参与进行了中微第一代及第二代MOCVD的设计、工艺开发及...请您在WIFI条件下观看！或下载极智APP收藏反复观看！