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国产高端
光刻
胶材料研发商东凯芯半导体完成A轮融资
上海新阳:目前建成
光刻
胶产能100吨,KrF
光刻
胶多款产品批量销售
英国南安普敦大学开设全球第二家电子束
光刻
工厂
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式
光刻
机采购项目(第二次)公开招标公告
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式
光刻
机采购项目(第二次)公开招标公告
复旦大学先进
光刻
胶材料教育部工程研究中心正式成立
俄罗斯完成首台350nm
光刻
机开发,将批量生产
浙江一半导体项目,首台
光刻
机成功搬入
浙江一半导体项目首台
光刻
机成功搬入!
英特尔首批两台High NA EUV
光刻
机投产,单季生产3万片晶圆
杭华股份拟收购浙江迪克60%股权 强化显示
光刻
胶领域布局
日本加强出口管制!42家中国实体列入“黑名单”,涉及处理器、
光刻
机等领域
九奕半导体设备取得
光刻
机送料机构专利,使硅片涂布更均匀
山东发布新材料产业科技创新行动计划,第三代半导体材料、
光刻
胶等被划重点
中芯微取得半导体生产制造用
光刻
机专利,可实现移动目的
大族安莱微米级
光刻
机项目开工
深圳晶源申请
光刻
胶模型优化方法专利,能够解决模型中存在的过拟合现象和一致性不佳的技术问题
粤芯半导体申请
光刻
机对准方法专利,平衡晶圆中切割道与芯片的研磨速率
中芯国际申请
光刻
机焦距监控相关专利,实现在线焦距监控且对产品晶圆图形影响小
尼康官宣旗下首款半导体后端工艺用
光刻
机
Nature Photonics | 基于深紫外microLED显示的无掩膜
光刻
技术与应用示范
国产半导体专用
光刻
胶领域实现重大突破,已通过量产验证!
中科大孙海定iGaN实验室研究三维垂直集成microLED阵列实现无掩膜深紫外
光刻
新技术
浙江奥首材料科技申请一种用于半导体化合物
光刻
胶的剥离液专利,减少剥离液中的腐蚀
威迈芯材年产100吨半导体高端
光刻
材料项目封顶 总投资3亿元
工信部推广国产DUV
光刻
机,最小套刻精度≤8nm
威迈芯材年产100吨半导体高端
光刻
材料项目主体结构全面封顶
智芯微“
光刻
胶均匀覆盖晶圆表面的仿真方法”专利公布
福建泓光半导体材料取得一种
光刻
胶自动过滤装置专利,提高工作效率
国内首台超大尺寸钙钛矿高速激
光刻
蚀成套设备发布
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