大连理工大学“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”专利公布

日期:2024-03-29 阅读:253
核心提示:天眼查显示,大连理工大学氮化镓气体传感器及其制备方法、应用专利公布,申请公布日为2024年3月26日,申请公布号为CN117761126A

天眼查显示,大连理工大学“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”专利公布,申请公布日为2024年3月26日,申请公布号为CN117761126A。

本发明公开了一种氮化镓气体传感器及其制备方法、应用,制备方法包括:对衬底进行镀膜形成非晶氮化镓薄膜,得到含有非晶氮化镓薄膜的衬底;对含有非晶氮化镓薄膜的衬底进行热退火,使非晶氮化镓薄膜转变为多晶氮化镓薄膜,得到含有多晶氮化镓薄膜的衬底;对含有多晶氮化镓薄膜的衬底进行湿法腐蚀,在非晶氮化镓薄膜的表面形成多孔结构,得到具有多孔结构的衬底;对具有多孔结构的衬底涂覆光刻胶后进行图案化光刻,得到具有叉指电极图形的衬底;目标图形为叉指电极图形;在具有目标图形的衬底上生长电极后,去除剩余光刻胶得到氮化镓气体传感器。本发明的氮化镓气体传感器符合用于检测或监测氨气的高灵敏度、低检测限和高敏选择性需求。

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