华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目奠基

据悉，日前，华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目奠基仪式在北京市亦庄项目现场举行。

 

华海清科董事长、首席科学家路新春表示，本项目由子公司华海清科（北京）科技有限公司负责，用于开展高端半导体设备研发及产业化，将进一步扩大公司生产经营规模。

 

消息显示，华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目位于马驹桥镇智能制造基地，主要涉及化学机械抛光（CMP）设备、减薄机的研发和产业化。该项目达产后，将具备28纳米以下先进制程CMP设备研制能力，以及每月20万片12英寸再生晶圆代工能力。