3月3日，江苏微导纳米科技股份有限公司科创板上市申请正式获得上交所受理，拟募资10亿元。微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉 积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。
ALD 技术广泛适用于不同场景下的薄膜沉积，在光伏、半导体、柔性电子 等新型显示领域均具有很好的应用。报告期内，其产品主要应用于光伏、半导体领域。在成功实现 ALD 技术应用于光伏领域后，先后开发出对技术水平和工艺要求更高的半导体和柔性电子薄膜沉积设备，并逐步拓展应用领域。国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数 栅氧层材料沉积环节）中的突破。
微导纳米此次拟募集资金10亿元，扣除发行费用后将用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目、以及补充流动资金。
基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目拟基于公司现有 ALD 设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏、柔性电子的 ALD设备，新增年产120 台ALD设备的生产能力。基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目拟基于公司现有ALD设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ALD设备，新增年产40套ALD设备。
公告指出，项目实施有助于公司扩大产能，提升公司经济效益。有利于公司抓住半导体发展机遇，促进半导体装备国产化。有助于公司提升技术水平，持续升级现有产品。
