广州又一氮化镓项目要开建,中试能力1000片/年!

日期:2021-10-15    
核心提示:近日,据广东省投资项目在线审批监管平台公示了广州第三代半导体创新中心建设项目进展情况。据披露,广州第三代半导体创新中心建
近日,据广东省投资项目在线审批监管平台公示了广州第三代半导体创新中心建设项目进展情况。 广州第三代半导体创新中心建设项目已于10月12日复核通过,并将于2021年11月开建,2022年7月结束。
△Source:广东省投资项目在线审批监管平台
 
根据公示,该项目建设单位为西安电子科技大学广州研究院,总投资4.54亿元,拟建设第三代半导体氮化镓研发线一条,中试线一条,中试能力达到折合6寸晶圆1000片/年。同时,创新中心拟将建设第三代半导体的公共技术研发服务平台,主要包括器件和集成电路设计平台、加工平台及测试分析平台。
 
根据此前资料,广州第三代半导体创新中心建设项目于2020年底签约落地广州黄埔,将聚焦大尺寸氮化镓材料外延生长、氮化镓微波毫米波器件与集成电路、氮化镓电力电子器件与集成电路等技术领域。
 
项目建成后,将促进第三代半导体上下游相关产业公司和人才在广州市开发区聚集,协助推进第三代半导体产业链在广州市开发区落地,实现广州市第三代半导体产业跨越式发展。
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