露笑科技:9月可实现6英寸导电型碳化硅衬底片小批量试生产

日期:2021-06-30 来源:半导体产业网阅读:290
核心提示:近日,露笑科技在投资者关系活动中表示,合肥工厂9月份可实现6英寸导电型碳化硅衬底片的小批量试生产。有投资者提问:目前公司在
近日,露笑科技在投资者关系活动中表示,合肥工厂9月份可实现6英寸导电型碳化硅衬底片的小批量试生产。
 
有投资者提问:目前公司在合肥投资的碳化硅工厂进度如何?如何理解公司碳化硅衬底片目前已经送样检测通过这个技术环节?
 
露笑科技表示,公司已全面掌握6英寸导电型碳化硅晶体生长工艺参数之间的各种耦合关系,确定了各工艺参数的优值,中试线生长成品率达到40%,具备了可重复、可批量生长碳化硅晶体的设备以及技术条件。其中露笑科技提供100%国产化的晶体生长设备,目前已根据工艺的改进,对长晶炉进行了三代优化,完成了设备定型。这次合肥项目一期100台设备已经完成出厂调试,预计7月底在合肥工厂完成安装调试。衬底片已通过多 家第三方单位的测试,已达到了P级标准。随着衬底加工设备、清洗设备、测试设备等的逐步到位,以及加工工艺的进一步优化,合肥工厂9月份可实现6英寸导电型碳化硅衬底片的小批量试生产。
 
同时说明一点,车规级导电型碳化硅衬底片开发目前是世界级难题,是真正卡脖子的技术,需要全行业的人沉下心来、深耕细作。如何提高产率,如何稳定质量,如何规模化产业化,怎样进一步降低成本,价格如何降低到整个行业可以普及等等一系列问题,行业上还有很长的路要走。露笑科技正在为此努力,力争年底前形成规模化量产能力。
 
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