GaN和SiC基功率半导体的宽带隙技术

日期:2021-04-01 来源:电子发烧友阅读:402
核心提示:寻找硅替代物的研究始于上个世纪的最后二十年,当时研究人员和大学已经对几种宽带隙材料进行了试验,这些材料显示出替代射频,发
寻找硅替代物的研究始于上个世纪的最后二十年,当时研究人员和大学已经对几种宽带隙材料进行了试验,这些材料显示出替代射频,发光,传感器和功率半导体的现有硅材料技术的巨大潜力。应用程序。在新世纪即将来临之际,氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)达到了足够的成熟度并获得了足够的吸引力,从而留下了其他潜在的替代品,从而引起了全球工业制造商的足够关注。
 
在接下来的几年中,重点是调查与材料有关的缺陷,为新材料开发定制的设计,工艺和测试基础架构,并建立某种可重现的无源(二极管)器件和几种有源器件(MosFET,HEMT,MesFET,JFET)或BJT)开始进入演示板,并能够证明宽带隙材料带来的无可争议的优势。关于功率半导体,这些包括工作温度范围的扩展,电流密度的增加以及开关损耗的多达十倍的降低,从而允许在明显更高的频率下连续运行,从而减小了系统的重量和最终应用的尺寸。
 
对于这两种材料,仍然需要解决一些独特的挑战:
 
GaN非常适合中小型功率(主要是消费类应用),似乎可以实现高度的单片集成,其中一个或多个功率开关与驱动器电路共同封装,有可能在单片芯片上创建功率转换IC ,由最先进的8-12英寸混合信号晶圆制造厂制造。尽管如此,由于镓被认为是一种稀有的,无毒的金属,在硅生产设施中可能会作为无意的受主而产生副作用,因此严格分隔许多制造工艺步骤(如干法蚀刻,清洁或高温工艺)仍然是至关重要的要求。此外,在MO-CVD外延工艺中,GaN沉积在晶格不匹配的载体(如SiC)上,或者沉积在较大的晶片直径上(通常甚至沉积在硅上),这可以减轻膜应力和晶体缺陷,
 
GaN功率器件通常是横向HEMT器件,其利用了源极和漏极之间的固有二维电子气通道,该通道由肖特基类型的金属进行选通。
 
另一方面,SiC由硅和石墨的丰富成分组成,它们共同构成了地壳的近30%。工业规模的单晶SiC锭的生长是6英寸的成熟且广泛可用的资源。早期行动者最近开始评估8英寸晶圆,并且希望在未来五(5)年内,SiC制造将扩展到8英寸晶圆生产线。
 
 
图1:6英寸晶圆上的碳化硅成熟度–半透明碳化硅衬底与成品晶圆的比较
 
SiC肖特基二极管和SiC MOSFET在市场上的广泛采用提供了所需的缩放效果,以降低高质量衬底,SiC外延和制造工艺的制造成本。晶体缺陷(通过视觉和/或电应力测试消除)极大地影响了较大尺寸芯片的良率。此外,由于沟道迁移率低,还存在一些挑战,这些挑战使SiC FET在100V至600V的电压范围内无法与Silicon FET竞争。
 
市场领导者已经意识到垂直供应链对制造GaN和SiC产品的重要性。在单一屋顶下建立制造能力,其中包括晶体生长,晶片和抛光,外延,器件制造和封装专业知识,包括优化的模块和封装,其中考虑了快速瞬变和热功能或宽带隙器件(WBG)的局限性允许最低的成本,最高的产量和可靠性。
 
凭借广泛而具有竞争力的产品组合和全球供应链,新的重点正在转向产品定制以实现改变游戏规则的应用程序。硅二极管,IGBT和超结MOSFET的直接替代品已经为WBG技术市场做好了准备。在针对特定拓扑调整电气性能以继续提高功率效率,扩大驱动范围,减少重量,尺寸和组件数量,以及在工业,汽车和消费领域实现新颖,突破性的最终应用方面,还有更多的潜力。
 

图2:在PFC和LLC阶段均使用1200V SiC MOSFET的最高效率车载充电器系统,可实现最高的功率密度和最低的重量。通过https://www.onsemi.com/products/wide-bandgap提供了参考设计
 
实现快速设计周期的关键要素是精确的香料模型,其中包括热性能和校准的封装寄生特性,几乎可用于所有流行的仿真器平台,以及快速采样支持,应用笔记,定制的SiC和GaN驱动器IC以及全球范围的支持基础结构。
 
未来的十(10)年将见证另一场历史性的变革,其中GaN和SiC基功率半导体将推动功率电子封装集成和应用领域的根本性发明。在此过程中,硅器件将几乎从电源开关节点中消除。尽管如此,他们将继续在高度集成的功率IC和较低电压范围中寻求庇护。
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