众鸿半导体项目签约上海临港产业区

日期:2021-03-11 来源:集微网阅读:305
核心提示:3月10日,众鸿半导体项目签约仪式在上海临港产业区公司举办。
3月10日,众鸿半导体项目签约仪式在上海临港产业区公司举办。
 
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图片来源:上海临港产业区
 
众鸿半导体项目主要进行光刻工艺的主设备——涂胶显影设备的国产化研发,现计划入驻临港产业区钻石园8-2厂房进行设备的批量生产使用。据介绍,项目计划在临港产业区钻石园新增生产厂房作为设备量产场所,2021-2023计划投入12寸涂胶显影设备以及其他半导体设备研发并量产化。
 
上海众鸿半导体设备有限公司(以下简称“众鸿半导体”)为上海众鸿电子科技有限公司全资子公司,于2019年01月在临港自由贸易新片区成立。
 
上海临港产业区消息显示,众鸿半导体拳头产品是专用光阻涂胶显影设备。该设备广泛应用于硅片(Si)、化合物半导体:砷化镓(GaAs),氮化镓(GaN),碳化硅(SiC)等集成电路制造领域。成立至今,众鸿半导体已获得专利37项,合作客户有中芯国际、台积电、 三安集成、积塔半导体、华润上华、长电科技、通富微、塞莱克斯等
 
据介绍,众鸿半导体致力于研发与制造更适合中国企业应用的涂胶显影设备,将全力以赴为集成电路工艺设备国产化出力,推动涂胶显影设备的进口替代在临港新片区起航,助力“东方芯港”打造集成电路全产业链生态体系。
 
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