沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源公司座落在沈阳市浑南区,公司占地2万平米,设置了专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高,形成自主知识产权体系,已申请300余项专利,其中发明专利272项;已拥有授权专利159项,其中发明专利134项。沈阳芯源公司作为国内领先的高端半导体装备制造企业