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四方达:自主研发的
MPCVD
设备及CVD金刚石工艺已得到批量验证
新进展!西安交通大学实现2英寸单晶金刚石异质外延自支撑衬底量产
金刚石
半导体
MPCVD
异质外延
2英寸
量产
简述影响
MPCVD
法制备金刚石质量的因素研究
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