日前，合肥经济技术开发区管理委员会网站发布关于对合肥至汇半导体应用技术有限公司半导体湿法设备制造项目（一期）环境影响评价文件拟作出审批意见的公示。
△Source：合肥经开区网站截图
据披露，合肥至汇半导体应用技术有限公司将在合肥经济技术开发区建设半导体湿法设备制造项目（一期），项目总投资1.8亿元，投产后可年产30台年产批次式半导体湿法清洗设备和10台单片式半导体湿法清洗设备。
天眼查显示，合肥至汇半导体应用技术有限公司成立于2019年，注册资本1000万元，是上海至纯洁净系统科技股份有限公司的全资子公司，经营范围包括半导体设备、机械设备、自动化设备、计算机及辅助设备、配电开关控制设备制造、销售、维修、调试及技术服务；工业自动化科技、计算机科技、半导体科技领域内的技术研发、技术咨询、技术转让、技术服务等。
据悉，该项目最早可追溯至2019年。
2019年5月，至纯科技发布公告称，为顺应我国半导体产业的发展，拟募集资金总额不超过3.56亿元，扣除发行费用后将用于半导体湿法设备制造项目和晶圆再生基地项目，而负责半导体湿法设备制造项目的实施主体正式合肥至汇。
△Source：至纯科技公告截图
公告显示，半导体湿法设备制造项目建设周期为2年，建成后，主要开展批次式半导体湿法清洗设备和单片式半导体湿法清洗设备的生产制造。
