中电48所巩小亮: SiC功率器件制造装备技术及发展趋势

视频IFWS > IFWS20222023-12-16 16:30
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SiC功率器件制造装备技术及发展趋势Technology and development trends of SiC power devices manufacturing equipment巩小亮中国电子科技集团公司第四十八研究所、半导体装备研究部主任Xiaoliang GONGDirector of Semiconductor equipment research department, The 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation
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