奥趋光电CTO王琦琨：PVT法同质外延AlN生长和p型掺杂面临的挑战

视频IFWS > IFWS20222024-04-18 11:43
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PVT法同质外延AlN生长和p型掺杂面临的挑战Challenges on homoepitaxial AlN growth and p-type doping by the PVT method王琦琨奥趋光电技术（杭州）有限公司研发总监（CTO）
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