中国科学院半导体所研究员赵德刚：平片蓝宝石衬底上高质量AlN材料MOCVD外延生长

视频IFWS > IFWS20222024-04-24 10:03
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平片蓝宝石衬底上高质量AlN材料MOCVD外延生长High quality AlN growth on flat sapphire at relative low temperature by MOCVD赵德刚中国科学院半导体所研究员ZHAO DegangProfesor of Institute of Semiconductors, CAS
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