吴帆正树：碳化硅沟槽刻蚀技术研究进展

视频WBSC 20212024-03-07 17:25
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《碳化硅沟槽刻蚀技术研究进展》作者：吴帆正树，张清纯，马宏平，张洁，侯欣蓝，张园览单位：复旦大学工程与应用技术研究院超越照明研究所
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