余佳东:等离子体密度对ICP-MOCVD生长GaN薄膜的影响

视频WBSC 20212022-07-28 10:50
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《等离子体密度对ICP-MOCVD生长GaN薄膜的影响》作者:余佳东,罗毅,王健,张子轩,李翔,汪莱,郝智彪单位:北京信息科学与技术
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