刘志彬:溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用

视频WBSC 20212022-06-14 14:39
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《溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用》作者:刘志彬,郭亚楠,闫建昌,曾一平,李晋闽,王军喜单位:中国科学院半
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