【视频报告 2018】中科院半导体研究所张韵研究员:III族氮化物基射频HEMT、HBT与滤波器

视频IFWS2023-06-18 23:54
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中科院半导体研究所所长助理、研究员张韵分享了《III族氮化物基射频HEMT、HBT与滤波器》报告,受限于铌酸锂声速较低(3400-4000 m/s),商用铌酸锂基声表面波(SAW)滤波器工作频率通常低于3 GHz,难以满足通讯系统频率不断提升的需求,因此基于高声速AlN薄膜(5600-6000 m/s)的高频SAW滤波器成为研究热点。分别在铌酸锂衬底和AlN/蓝宝石衬底上制备出叉指宽度为2 靘的SAW滤波器,铌酸锂SAW滤波器的中心频率为426.7 MHz,而AlN基SAW 滤
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