极智报告|北方华创第一刻蚀BU副总经理刘利坚:LED工业中的干法刻蚀工艺技术和关键设备

视频2023-05-22 16:43
1播放 · 0评论未经作者授权,禁止转载
1515
稿件投诉
北京北方华创微电子装备有限公司第一刻蚀BU副总经理刘利坚介绍了LED工业中的干法刻蚀工艺技术和关键设备。刘利坚长期以来从事高端微电子装备设计开发工作,对于等离子体刻蚀和PECVD设备的硬件设计和工艺应用有丰富经验。刘利坚介绍了等离子刻蚀的一些技术问题,并具......
展开更多
分享知识,共同成长。把复杂的事情掰扯明白!
相关推荐
联系客服 投诉反馈  顶部