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基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”
专利
公布
中芯微取得半导体生产制造用光刻机
专利
,可实现移动目的
基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”
专利
公布
北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”
专利
公布
天域半导体取得水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具
专利
,能够保证石英钟罩的清洁效果符合炉膛反应需求
派恩杰“一种碳化硅晶圆衬底的制备方法及碳化硅晶圆衬底”
专利
公布
成都士兰半导体申请半导体外延结构及其制备方法
专利
,降低外延自掺杂效应
深圳晶源申请光刻胶模型优化方法
专利
,能够解决模型中存在的过拟合现象和一致性不佳的技术问题
河北同光半导体申请具有 p/n 结结构的碳化硅单晶柔性膜
专利
,实现碳化硅薄膜高效剥离且无损伤
无锡锟芯半导体取得一种IGBT的驱动装置
专利
,实现IGBT本体的快速装拆
上海天岳申请一种三维方向应力分布均匀的SiC衬底及SiC晶体
专利
,提高SiC衬底质量
安徽格恩半导体申请GaN基化合物半导体激光元件
专利
,提升光束质量因子
广州华瑞升阳申请宽禁带半导体器件
专利
,降低宽禁带半导体器件导通损耗和栅介质层击穿风险
长光华芯“一种释放氧化应力的VCSEL芯片及其制备方法”
专利
获授权
浙江材孜科技取得碳化硅单晶生长装置
专利
,有利于生长空间的稳定性
纳维达斯半导体申请 GaN 半桥电路等
专利
,提升电路性能
士兰微“用于LLC谐振变换器的恒流控制电路及恒流控制方法”
专利
获授权
捷捷微电“一种纵向变掺杂的IGBT结构及制备方法”
专利
公布
派恩杰“一种碳化硅晶圆衬底的制备方法及碳化硅晶圆衬底”
专利
公布
华为申请碳化硅衬底制备方法
专利
,使碳化硅衬底内部应力分布均匀
郑州势垒取得用于金刚石生长的 MPCVD 装置
专利
,能有效隔离外界空气维持真空工作环境
广东中图半导体申请高一致性图形化衬底制备方法
专利
,解决图形化衬底均一性降低问题
万国半导体申请用于功率 MOSFET 的凹陷型多晶硅 ESD 二极管
专利
,保护功率晶体管免受高电压 ESD 事件影响
上海瑞华晟申请SiC/SiC复合材料制备方法
专利
,提升材料抗氧化性
南京集芯光电取得一种氮化镓生长加热炉
专利
,解决氮化镓采取和附着问题,提高产量
浙之芯申请一种氮化镓传感器及制备方法和装置
专利
,大大提高氮化镓传感器的制备效率
苏州立琻半导体申请p型AlGaN材料及其制备等
专利
,提高了p型AlGaN材料的空穴浓度
上海积塔半导体申请检测晶圆位置的
专利
,能够确保后续晶圆环切等工艺顺利进行
浙江睿熙申请 VCSEL 集成晶圆及其制造方法
专利
,实现晶圆级别集成
森国科申请 MOSFET 结构相关
专利
,降低饱和电流
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