北方华创王显刚:化合物半导体工艺设备解决方案

日期:2021-12-10 来源:半导体产业网阅读:481
核心提示:北京北方华创微电子装备有限公司LED及化合物半导体行业发展部总经理王显刚分享了“化合物半导体工艺设备解决方案”主题报告。
 近日,由第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)、国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)联合主办,北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司与半导体产业网共同承办的第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳会展中心举行。
 
期间, “IFWS  2021:碳化硅功率器件与封装应用论坛“成功召开。会议由芜湖启迪半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、北京北方华创微电子装备有限公司、德国爱思强股份有限公司协办支持。
王显刚
▲北京北方华创微电子装备有限公司LED及化合物半导体行业发展部总经理王显刚
 
会上,北京北方华创微电子装备有限公司LED及化合物半导体行业发展部总经理王显刚分享了“化合物半导体工艺设备解决方案”主题报告。

北京北方华创微电子装备有限公司经过二十年的发展,北方华创已成为国内领先的半导体装备制造与服务商。在化合物半导体领域,NAURA定制开发了化合物半导体刻蚀机、PECVD系统、槽式清洗系统和卧式扩散/氧化系统,为客户提供全面的设备及工艺解决方案。北方华创专注器件工艺研发,包括SiN/GaN 慢速低损伤刻蚀设备,SiC通孔高速刻蚀设备,高致密、低应力的PECVD薄膜沉积设备等均已在国内多条主流生产线上批量应用。

在SiC量产线上,应用于SiC功率器件的Etch、PVD、清洗设备、PEVCD、卧式炉等关键工艺设备在国内主流产线上也已大规模应用。国内首台量产型SiC高温氧化退火/高温激活立式炉在客户端实现量产应用;公司的SiC长晶炉已在客户端批量投入使用。

(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解!)

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