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华虹宏力“提升芯片良率和可靠性的方法”
专利
公布
华海清科“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”
专利
公布
捷捷微电“一种纵向变掺杂的IGBT结构及制备方法”
专利
公布
上海积塔半导体取得晶圆承载装置及应用其的半导体工艺设备
专利
,避免晶圆拿取时破碎
华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”
专利
公布
北方华创“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”
专利
公布
英诺赛科起诉英飞凌
专利
侵权
杭州士兰微电子取得半导体器件
专利
,控制了栅漏电容
九奕半导体设备取得光刻机送料机构
专利
,使硅片涂布更均匀
中微公司发明
专利
再获中国
专利
奖殊荣
北京航天赛德申请氮化镓衬底抛光液
专利
,极大提升氮化镓衬底表面特性
基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”
专利
公布
中芯微取得半导体生产制造用光刻机
专利
,可实现移动目的
基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”
专利
公布
北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”
专利
公布
天域半导体取得水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具
专利
,能够保证石英钟罩的清洁效果符合炉膛反应需求
派恩杰“一种碳化硅晶圆衬底的制备方法及碳化硅晶圆衬底”
专利
公布
成都士兰半导体申请半导体外延结构及其制备方法
专利
,降低外延自掺杂效应
深圳晶源申请光刻胶模型优化方法
专利
,能够解决模型中存在的过拟合现象和一致性不佳的技术问题
河北同光半导体申请具有 p/n 结结构的碳化硅单晶柔性膜
专利
,实现碳化硅薄膜高效剥离且无损伤
无锡锟芯半导体取得一种IGBT的驱动装置
专利
,实现IGBT本体的快速装拆
上海天岳申请一种三维方向应力分布均匀的SiC衬底及SiC晶体
专利
,提高SiC衬底质量
安徽格恩半导体申请GaN基化合物半导体激光元件
专利
,提升光束质量因子
广州华瑞升阳申请宽禁带半导体器件
专利
,降低宽禁带半导体器件导通损耗和栅介质层击穿风险
长光华芯“一种释放氧化应力的VCSEL芯片及其制备方法”
专利
获授权
浙江材孜科技取得碳化硅单晶生长装置
专利
,有利于生长空间的稳定性
纳维达斯半导体申请 GaN 半桥电路等
专利
,提升电路性能
士兰微“用于LLC谐振变换器的恒流控制电路及恒流控制方法”
专利
获授权
捷捷微电“一种纵向变掺杂的IGBT结构及制备方法”
专利
公布
派恩杰“一种碳化硅晶圆衬底的制备方法及碳化硅晶圆衬底”
专利
公布
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